Lýsing
Einkristal kísilhleifuris venjulega vaxið sem stór sívalur hleifur með nákvæmri lyfja- og togtækni Czochralski CZ, segulsviðsframkallaða Czochralski MCZ og Floating Zone FZ aðferðir.CZ aðferðin er mest notuð fyrir kísilkristallavöxt stórra sívalra hleifa í þvermál allt að 300 mm sem notuð eru í rafeindaiðnaðinum til að búa til hálfleiðaratæki.MCZ aðferð er afbrigði af CZ aðferðinni þar sem segulsvið myndað af rafsegul, sem getur náð lágum súrefnisstyrk tiltölulega, lægri styrk óhreininda, minni tilfærslu og einsleita viðnámsbreytingu.FZ aðferðin auðveldar að ná háu viðnámi yfir 1000 Ω-cm og hárhreinleika kristal með lágt súrefnisinnihald.
Afhending
Single Crystal Silicon Ingot CZ, MCZ, FZ eða FZ NTD með n-gerð eða p-gerð leiðni hjá Western Minmetals (SC) Corporation er hægt að afhenda í stærðum 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm og 200 mm þvermál (2, 3) , 4, 6 og 8 tommu), stefnu <100>, <110>, <111> með yfirborði jarðtengd í pakka af plastpoka inni með öskju að utan, eða eins og sérsniðin forskrift til að ná fullkominni lausn.
.
Tæknilegar upplýsingar
Single Crystal Silicon Ingot CZ, MCZ, FZ eða FZ NTDmeð n-gerð eða p-gerð leiðni hjá Western Minmetals (SC) Corporation er hægt að afhenda í stærðum 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm og 200 mm í þvermál (2, 3, 4, 6 og 8 tommu), stefnumörkun <100 >, <110>, <111> með yfirborði jarðtengd í pakka af plastpoka inni með öskju að utan, eða sem sérsniðna forskrift til að ná fullkominni lausn.
Nei. | Hlutir | Staðlað forskrift | |
1 | Stærð | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Þvermál mm | 50,8-241,3, eða eftir þörfum | |
3 | Vaxtaraðferð | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Tegund leiðni | P-gerð / bórdópuð, N-gerð / fosfíðdópuð eða ódópuð | |
5 | Lengd mm | ≥180 eða eftir þörfum | |
6 | Stefna | <100>, <110>, <111> | |
7 | Viðnám Ω-cm | Eins og krafist er | |
8 | Kolefnisinnihald a/cm3 | ≤5E16 eða eftir þörfum | |
9 | Súrefnisinnihald a/cm3 | ≤1E18 eða eftir þörfum | |
10 | Málmmengun a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) eða <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Pökkun | Plastpoki að innan, krossviðarhylki eða öskju að utan. |
Tákn | Si |
Atómnúmer | 14 |
Atómþyngd | 28.09 |
Frumefnisflokkur | Metalloid |
Hópur, tímabil, blokk | 14, 3, bls |
Kristall uppbygging | Demantur |
Litur | Dökk grár |
Bræðslumark | 1414°C, 1687,15 K |
Suðumark | 3265°C, 3538,15 K |
Þéttleiki við 300K | 2.329 g/cm3 |
Innri viðnám | 3.2E5 Ω-cm |
CAS númer | 7440-21-3 |
EB númer | 231-130-8 |
Einkristal kísilhleifur, þegar fullvaxið og hæft er viðnám þess, óhreinindi, fullkomnun kristals, stærð og þyngd, jarðtengd með demantarhjólum til að gera hann að fullkomnum strokka í réttu þvermáli, fer síðan í ætingarferli til að fjarlægja vélrænni galla sem eftir malaferlið skilur eftir sig. .Síðan er sívalur hleifurinn skorinn í kubba með ákveðinni lengd, og hann er gefinn hak og aðal- eða aukahlutur flatur með sjálfvirkum oblátu meðhöndlunarkerfum til að stilla upp til að bera kennsl á kristallfræðilega stefnu og leiðni fyrir niðurstreymis obláta sneiðarferli.
Ábendingar um innkaup
Einkristal kísilhleifur